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Nanofabricación Avanzada
Código: 45736Créditos: 3
| Titulación | Tipo | Curso |
|---|---|---|
| Nanociencia Aplicada: de Materiales a Dispositivos / Applied Nanoscience: From Materials to Devices | OP | 1 |
Profesor/a de contacto
- Nombre :
- Francesc Perez Murano
- Correo electrónico :
- francesc.perez@uab.cat
Equipo docente
- Iñigo Martin Fernandez
- Esteve Amat Bertran
- Marta Fernandez Regulez
- Jordi Llobet Sixto
Idiomas de los grupos
Puede consultar esta información al final del documento.
Prerrequisitos
Es recomendable tener conocimientos previos de Nanofabricación
Objetivos
- Conocer en profundidad los métodos más comunes de nanoestructuración de superficies.
- Comprender en detalle el rendimiento y las limitaciones de los principales métodos de litografía.
- Capacitar a los estudiantes para diseñar un proceso de fabricación de dispositivos y nanoestructuras.
- Adquirir conocimientos prácticos sobre el uso de equipos de nanofabricación.
- Conocer el estado del arte en nanofabricación y las principales direcciones de las líneas de evolución actuales de esta disciplina.
Resultados de aprendizaje
- CA14 (Diseñar procesos de nanolitografía.) Diseñar procesos de nanolitografía.
- CA15 (Planificar un proceso completo de nanofabricación en Sala Blanca.) Planificar un proceso completo de nanofabricación en Sala Blanca.
- CA16 (Adaptar procesos de fabricación de nanodispositivos en función de las aplicaciones.) Adaptar procesos de fabricación de nanodispositivos en función de las aplicaciones.
- KA13 (Identificar métodos de nanofabricación actuales y emergentes.) Identificar métodos de nanofabricación actuales y emergentes.
- KA14 (Seleccionar los procesos y nanomateriales adecuados en la realización de estructuras y dispositivos nanométricos.) Seleccionar los procesos y nanomateriales adecuados en la realización de estructuras y dispositivos nanométricos.
- SA16 (Analizar el desarrollo de nuevos procesos de nanofabricación y nuevas aplicaciones de estos procesos.) Analizar el desarrollo de nuevos procesos de nanofabricación y nuevas aplicaciones de estos procesos.
- SA17 (Analizar los requerimientos específicos para la correcta realización de un proceso de nanolitografía.) Analizar los requerimientos específicos para la correcta realización de un proceso de nanolitografía.
- SA18 (Seleccionar las condiciones de proceso en función de las características de la nanoestructura o nanodispositivo a fabricar.) Seleccionar las condiciones de proceso en función de las características de la nanoestructura o nanodispositivo a fabricar.
Contenidos
Métodos de nanofabricación en el estado del arte.
Aplicaciones relevantes de la nanofabricación para la nanoestructuración de materiales y fabricación de dispositivos.
Diseño avanzado de procesos de nanolitografía.
Proyecto práctico sobre nanofabricación basada en salas blancas.
Actividades formativas y Metodología
| Título | Horas | ECTS | Resultados de aprendizaje |
|---|---|---|---|
| Realización del trabajo de bibliografía sobre nanofabricación avanzada. | 12 | 0,48 | KA13, KA14, SA16 |
| Supervisión de un trabajo de bibliografía sobre nanofabricación avanzada | 5 | 0,2 | KA13, KA14, SA16 |
| Diseño de un flujo de procesos | 4 | 0,16 | CA14, CA15, KA14, SA17, SA18 |
| Webinarios | 6 | 0,24 | KA13, SA16, SA18 |
| Documentación y análisis de los seminarios web | 12 | 0,48 | KA13, KA14, SA16 |
| Realización práctica y caracterización de un flujo de proceso de fabricación | 5 | 0,2 | CA14, CA15, SA18 |
| Realización del trabajo práctico, documentación y presentación | 12 | 0,48 | CA14, CA15, CA16, KA14, SA17, SA18 |
| Clase magistral sobre tópicos avanzado en nanofabricación. | 6 | 0,24 | CA16, KA13, KA14, SA16, SA18 |
| Supervisión del trabajo práctico | 4 | 0,16 | CA14, CA15, KA14, SA17, SA18 |
Clases teóricas / Clases prácticas
Prácticas de laboratorio
Tutorías
Realización de tareas / informes
Lectura de artículos de interés
Seminarios
Evaluación
Actividades de evaluación continuada
| Título | Peso | Horas | ECTS | Resultados de aprendizaje |
|---|---|---|---|---|
| Trabajo práctico | 15% | 2 | 0,08 | CA14, CA15, SA18 |
| Examen | 10% | 2 | 0,08 | KA13, KA14, SA16, SA17 |
| Presentación oral de trabajos | 25% | 1 | 0,04 | CA14, CA15, CA16, KA13, KA14, SA16, SA17, SA18 |
| Interacción en seminarios web | 20% | 2 | 0,08 | KA13, SA16, SA17 |
| Entrega de informes | 30% | 2 | 0,08 | CA14, CA15, CA16, KA13, KA14, SA16, SA17, SA18 |
Se evaluará la capacidad del alumno para realizar un proceso completo de nanofabricación, desde la parte del diseño, selección de procesos, realización o caracterización.
Se hará especial énfasis en la documentación a entregar y en la capacidad de análisis de los alumnos.
Bibliografía
Artículos de investigación (propuestos por los profesores como resultado de la literatura de investigación de los estudiantes)
Manuales de equipos
Materiales de las hojas de datos
Libros de Nanofabricación
Software
Se usan programas libres para realizar el diseño de procesos de fabricación y el diseño de lay-outs de máscaras de litografías.
Grupos e idiomas de la asignatura
La información proporcionada es provisional hasta el 30 de noviembre. A partir de esta fecha, podrá consultar el idioma de cada grupo a través de este enlace. Para acceder a la información, será necesario introducir el CÓDIGO de la asignatura
| Tipo de docencia | Grupo | Idioma | Semestre | Turno |
|---|---|---|---|---|
| (TEm) Teoría (máster) | 1 | Inglés | primer cuatrimestre | tarde |