Avís important
La guia docent és provisional.
La versió en PDF de la guia docent pot tardar uns dies en estar disponible al DDD.
Nanofabricació Avançada
Codi: 45736Crèdits: 3
| Titulació | Tipus | Curs |
|---|---|---|
| Nanociència Aplicada: de Materials a Dispositius / Applied Nanoscience: From Materials to Devices | OP | 1 |
Professor/a de contacte
- Nom :
- Francesc Perez Murano
- Correu electrònic :
- francesc.perez@uab.cat
Equip docent
- Iñigo Martin Fernandez
- Esteve Amat Bertran
- Marta Fernandez Regulez
- Jordi Llobet Sixto
Idiomes dels grups
Podeu consultar aquesta informació al final del document.
Prerequisits
És recomanable tenir coneixements previs de nanofabricació.
Objectius
- Donar a conèixer en profunditat el mètodes més habituals de nanoestructuració de superfícies.
- Conèixer en detall les prestacions i limitacions dels principals mètodes de litografia.
- Capacitar l'alumne per dissenyar un procés complert de fabricació de dispositius i nanoestructures.
- Adquirir coneixements pràctics sobre la utilització d'equipament de nanofabricació.
- Conèixer l'estat de l'art en nanofabricació i les principals direccions actuals d'evolució d'aquesta disciplina
Resultats d'aprenentatge
- CA14 (Dissenyar processos de nanolitografia.) Dissenyar processos de nanolitografia.
- CA15 (Planificar un procés complet de nanofabricació en sala blanca.) Planificar un procés complet de nanofabricació en sala blanca.
- CA16 (Adaptar processos de fabricació de nanodispositius en funció de les aplicacions.) Adaptar processos de fabricació de nanodispositius en funció de les aplicacions.
- KA13 (Identificar mètodes de nanofabricació actuals i emergents.) Identificar mètodes de nanofabricació actuals i emergents.
- KA14 (Seleccionar els processos i els nanomaterials adequats per a les estructures i els dispositius nanomètrics.) Seleccionar els processos i els nanomaterials adequats per a les estructures i els dispositius nanomètrics.
- SA16 (Analitzar el desenvolupament de nous processos de nanofabricació i noves aplicacions d’aquests processos.) Analitzar el desenvolupament de nous processos de nanofabricació i noves aplicacions d’aquests processos.
- SA17 (Analitzar els requeriments específics per fer correctament un procés de nanolitografia.) Analitzar els requeriments específics per fer correctament un procés de nanolitografia.
- SA18 (Seleccionar les condicions de procés en funció de les característiques de la nanoestructura o del nanodispositiu que cal fabricar.) Seleccionar les condicions de procés en funció de les característiques de la nanoestructura o del nanodispositiu que cal fabricar.
Continguts
Mètodes de nanofabricació a l'estat de l'art.
Aplicacions rellevants de la nanofabricació per a la nanoestructuració de materials i fabricació de dispositius.
Disseny avançat de processos de nanolitografia.
Projecte pràctic sobre nanofabricació basada en sales blanques.
Activitats formatives i Metodologia
| Títol | Hores | ECTS | Resultats d'aprenentatge |
|---|---|---|---|
| Realització del treball de bilbiografia sobre nanofabricació avançada | 12 | 0,48 | KA13, KA14, SA16 |
| Supervisió d'un treball de bibliografia sobre nanofabricació avançada | 5 | 0,2 | KA13, KA14, SA16 |
| Disseny d'un flux de procés | 4 | 0,16 | CA14, CA15, KA14, SA17, SA18 |
| Webinars | 6 | 0,24 | KA13, SA16, SA18 |
| Documentació i anàlisi dels seminaris web | 12 | 0,48 | KA13, KA14, SA16 |
| Realització pràctica i caracterització d'un flux de procés de fabricació | 5 | 0,2 | CA14, CA15, SA18 |
| Realització del treball pràctic, documentació i presentació | 12 | 0,48 | CA14, CA15, CA16, KA14, SA17, SA18 |
| Classe magistral sobre òpics avançat en nanofabricació | 6 | 0,24 | CA16, KA13, KA14, SA16, SA18 |
| Supervisió del treball pràctic | 4 | 0,16 | CA14, CA15, KA14, SA17, SA18 |
Classes magistrals / Conferències
Pràctiques de laboratori
Tutories
Realització de tasques / informes
Lectura d'articles d'interès
Seminaris
Avaluació
Activitats d'avaluació continuada
| Títol | Pes | Hores | ECTS | Resultats d'aprenentatge |
|---|---|---|---|---|
| Treball pràctic | 15% | 2 | 0,08 | CA14, CA15, SA18 |
| Examen | 10% | 2 | 0,08 | KA13, KA14, SA16, SA17 |
| Presentació oral de treballs | 25% | 1 | 0,04 | CA14, CA15, CA16, KA13, KA14, SA16, SA17, SA18 |
| Interacció en seminaris web | 20% | 2 | 0,08 | KA13, SA16, SA17 |
| Entrega d'informes | 30% | 2 | 0,08 | CA14, CA15, CA16, KA13, KA14, SA16, SA17, SA18 |
S'avaluarà la capacitat de l'alumne per dur a terme un procés complert de nanofabricació, des de la part del
disseny, selecció de processos, realització o caracterització.
Es farà especial ènfasis en la documentació a entregar i en la capacitat d'anàlisis dels alumnes.
Bibliografia
Articles de recerca (proposats pels professors i com a resultat de recerca bibliogràfica per part dels alumnes)
Manuals dels equips
Datasheets dels materials
Llibres sobre nanofabricació
Programari
Es fan servir programes lliures per realitzar el disseny de processos de fabricació i el disseny de lay-outs de màscares de litografia
Grups i idiomes de l'assignatura
La informació proporcionada és provisional fins al 30 de novembre. A partir d'aquesta data, podreu consultar l'idioma de cada grup a través d'aquest enllaç. Per accedir a la informació, caldrà introduir el CODI de l'assignatura
| Tipus de docència | Grup | Idioma | Semestre | Torn |
|---|---|---|---|---|
| (TEm) Teoria (màster) | 1 | Anglès | primer quadrimestre | tarda |