Nanofabricació Avançada
Codi: 45736Crèdits: 3
| Titulació | Tipus | Curs |
|---|---|---|
| Nanociència Aplicada: de Materials a Dispositius / Applied Nanoscience: From Materials to Devices | OP | 1 |
Professor/a de contacte
- Nom :
- Francesc Perez Murano
- Correu electrònic :
- francesc.perez@uab.cat
Equip docent
- Iñigo Martin Fernandez
- Esteve Amat Bertran
- Marta Fernandez Regulez
- Jordi Llobet Sixto
Idiomes dels grups
Podeu consultar aquesta informació al final del document.
Prerequisits
És recomanable tenir coneixements previs de nanofabricació.
Objectius
- Donar a conèixer en profunditat el mètodes més habituals de nanoestructuració de superfícies.
- Conèixer en detall les prestacions i limitacions dels principals mètodes de litografia.
- Capacitar l'alumne per dissenyar un procés complert de fabricació de dispositius i nanoestructures.
- Adquirir coneixements pràctics sobre la utilització d'equipament de nanofabricació.
- Conèixer l'estat de l'art en nanofabricació i les principals direccions actuals d'evolució d'aquesta disciplina
Resultats d'aprenentatge
- (CA14) Dissenyar processos de nanolitografia.
- (CA15) Planificar un procés complet de nanofabricació en sala blanca.
- (CA16) Adaptar processos de fabricació de nanodispositius en funció de les aplicacions.
- (KA13) Identificar mètodes de nanofabricació actuals i emergents.
- (KA14) Seleccionar els processos i els nanomaterials adequats per a les estructures i els dispositius nanomètrics.
- (SA16) Analitzar el desenvolupament de nous processos de nanofabricació i noves aplicacions d’aquests processos.
- (SA17) Analitzar els requeriments específics per fer correctament un procés de nanolitografia.
- (SA18) Seleccionar les condicions de procés en funció de les característiques de la nanoestructura o del nanodispositiu que cal fabricar.
Continguts
Mètodes de nanofabricació a l'estat de l'art.
Aplicacions rellevants de la nanofabricació per a la nanoestructuració de materials i fabricació de dispositius.
Disseny avançat de processos de nanolitografia.
Projecte pràctic sobre nanofabricació basada en sales blanques.
Activitats formatives i Metodologia
| Títol | Hores | ECTS | Resultats d'aprenentatge |
|---|---|---|---|
| Tipus: Autònoma | |||
| Documentació i anàlisi dels seminaris web | 12 | 0,48 | KA13, KA14, SA16 |
| Realització del treball de bilbiografia sobre nanofabricació avançada | 12 | 0,48 | KA13, KA14, SA16 |
| Realització del treball pràctic, documentació i presentació | 12 | 0,48 | CA14, CA15, CA16, KA14, SA17, SA18 |
| Tipus: Dirigida | |||
| Classe magistral sobre òpics avançat en nanofabricació | 6 | 0,24 | CA16, KA13, KA14, SA16, SA18 |
| Disseny d'un flux de procés | 4 | 0,16 | CA14, CA15, KA14, SA17, SA18 |
| Realització pràctica i caracterització d'un flux de procés de fabricació | 5 | 0,2 | CA14, CA15, SA18 |
| Webinars | 6 | 0,24 | KA13, SA16, SA18 |
| Tipus: Supervisada | |||
| Supervisió d'un treball de bibliografia sobre nanofabricació avançada | 5 | 0,2 | KA13, KA14, SA16 |
| Supervisió del treball pràctic | 4 | 0,16 | CA14, CA15, KA14, SA17, SA18 |
Classes magistrals / Conferències
Pràctiques de laboratori
Tutories
Realització de tasques / informes
Lectura d'articles d'interès
Seminaris
Avaluació
Activitats d'avaluació continuada
| Títol | Pes | Hores | ECTS | Resultats d'aprenentatge |
|---|---|---|---|---|
| Entrega d'informes | 30% | 2 | 0,08 | CA14, CA15, CA16, KA13, KA14, SA16, SA17, SA18 |
| Examen | 10% | 2 | 0,08 | KA13, KA14, SA16, SA17 |
| Interacció en seminaris web | 20% | 2 | 0,08 | KA13, SA16, SA17 |
| Presentació oral de treballs | 25% | 1 | 0,04 | CA14, CA15, CA16, KA13, KA14, SA16, SA17, SA18 |
| Treball pràctic | 15% | 2 | 0,08 | CA14, CA15, SA18 |
S'avaluarà la capacitat de l'alumne per dur a terme un procés complert de nanofabricació, des de la part del
disseny, selecció de processos, realització o caracterització.
Es farà especial ènfasis en la documentació a entregar i en la capacitat d'anàlisis dels alumnes.
Bibliografia
Articles de recerca (proposats pels professors i com a resultat de recerca bibliogràfica per part dels alumnes)
Manuals dels equips
Datasheets dels materials
Llibres sobre nanofabricació
Programari
Es fan servir programes lliures per realitzar el disseny de processos de fabricació i el disseny de lay-outs de màscares de litografia
Grups i idiomes de l'assignatura
La informació proporcionada és provisional fins al 30 de novembre. A partir d'aquesta data, podreu consultar l'idioma de cada grup a través d'aquest enllaç. Per accedir a la informació, caldrà introduir el CODI de l'assignatura
| Tipus de docència | Grup | Idioma | Semestre | Torn |
|---|---|---|---|---|
| (TEm) Teoria (màster) | 1 | Anglès | primer quadrimestre | tarda |